雙管測角儀是一款基于秒級光電探測器,采用對比方法進(jìn)行角度測量的高精度的非接觸式角度測量儀器,廣泛應(yīng)用于光學(xué)加工中光學(xué)元件的任意光學(xué)二面、平行度、側(cè)垂、光東分離角、棱鏡出光綜合角等的精密測量。
主要功能:
棱鏡任意二面角測量;
側(cè)垂、平行度、光束分離角等測量;棱鏡出入射光束綜合角或偏向角測量多片棱鏡精密裝配定位和實(shí)時監(jiān)測;
二面角測量
如下圖所示,ACM-1為固定的光電自準(zhǔn)直儀,ACM-2為可繞樣品臺旋轉(zhuǎn)的光電自準(zhǔn)直儀。
如下圖所示,ACM-1為固定的光將標(biāo)準(zhǔn)片置于樣品臺上,調(diào)節(jié)樣品臺,使得ACM-1和ACM-2分別采集到樣品反射面1和反射面2的反射像。然后,初始化基準(zhǔn)。用同樣的方法調(diào)節(jié)待測樣品的兩個反射像,兩個反射像與基準(zhǔn)相比,便可以計算出待測二面角的大小。

規(guī)格型號 | FPAT – 300 | FPAT – 500 |
重復(fù)精度 | ≤5″ | ≤0.1″ |
分辨率 | 1″ | 0.1″ |
光源 | 激光(紅光 / 綠光) | 白光(400 – 700nm) |
測量口徑范圍 | φ1-φ150mm | φ3-φ200mm |
儀器主要部件:
光源及光源驅(qū)動器;
高精度光電探測器(帶CCD);
二維調(diào)節(jié)底座;
多維可調(diào)樣品臺;
高精度旋轉(zhuǎn)臺及測量軟件等;