非接觸式鏡面間隔及鏡片厚度測(cè)量?jī)x也叫鏡面定位儀,是采用邁克爾遜干涉原理精確定位透鏡表面,從而實(shí) 現(xiàn)透鏡厚度和鏡面空氣間隔的精密測(cè)量。相比傳統(tǒng)的機(jī)械接觸式逐片測(cè)量方法,一次掃描可同時(shí)測(cè)量組裝好鏡頭 內(nèi)所有鏡片厚度和空氣間隔,非接觸式無(wú)損傷,而且效率和精度更高。 隨機(jī)測(cè)量軟件可以自動(dòng)讀數(shù)并直接顯示測(cè) 量結(jié)果, 亦可結(jié)合在自動(dòng)鏡組偏心儀或透反射偏心儀上實(shí)現(xiàn)一站式實(shí)現(xiàn)各種透明或半透明光學(xué)鏡組內(nèi)各鏡片傾斜 和偏移,透鏡厚度和空氣間隔的精密測(cè)量和監(jiān)測(cè)。
主要特征:
無(wú)損傷:光學(xué)非接觸式精密測(cè)量
高效性:一次掃描,同時(shí)測(cè)量鏡片厚度和空氣間隔值 (精度可達(dá) 1um)
雙波長(zhǎng):同時(shí)包含指示激光和近紅外探測(cè)激光
方便性:含測(cè)量軟件,操作簡(jiǎn)單,直接顯示測(cè)量結(jié)果
一站式:可結(jié)合鏡組偏心儀或透反射偏心儀實(shí)現(xiàn)鏡片傾 斜和偏移,透鏡厚度和空氣間隔的精密測(cè)量和監(jiān)測(cè)。
參數(shù) | FAST300 | FAST600 | FAST800 |
測(cè)量范圍 (光程) | 300mm | 600mm | 800mm |
激光波長(zhǎng) | 測(cè)量波長(zhǎng) 1310nm;指示波長(zhǎng) 632nm | ||
測(cè)量精度(顯示分辨率) | 0.2μm | ||
測(cè)量精度(整體) | ±1μm | ||
測(cè)量速度 | 15 秒 / 100mm |